SAL-3000系列桌面型ALD原子層沉積系統(tǒng) |
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| 分類 | AGUS ALD-原子層沉積系統(tǒng) |
| 型號(hào) | SAL-3000 |
| 品牌 | AGUS |
| 產(chǎn)地 | 日本，進(jìn)口 |
SAL-3000 ALD原子層沉積系統(tǒng)
SAL3000是一款適用于研究型的ALD原子層沉積設(shè)備，該設(shè)備最多可搭載6路前驅(qū)體，適用于4英寸（φ100mm）以下基底材料的鍍膜。該設(shè)備在保持了優(yōu)異的膜厚分布外，還可進(jìn)一步通過改變鍍膜方向，來進(jìn)一步提高鍍膜的質(zhì)量。并且該設(shè)備還可搭載互鎖腔體（Load lock Chamber）和手套箱來沉積需要?dú)夥毡Ｗo(hù)的樣品。
SAL-3000 SAL3000+Load Lock Chamber
性能及特點(diǎn)：
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1.鍍膜質(zhì)量高 |
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·膜厚均勻性≤3% @ 100mm |
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·對于內(nèi)孔、凹槽與高深寬比結(jié)構(gòu)具有良好的沉積均勻性； |
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·膜厚可準(zhǔn)確控制達(dá)一個(gè)原子層； |
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·大面積制程可達(dá)到無孔洞薄膜（Pin Hole free） |
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·極高的重復(fù)性及穩(wěn)定性 |
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·材料缺陷密度低 |
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·可成長非晶型或結(jié)晶薄膜（選擇溫度） |
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| 2.兩種成膜方向可選 | |
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·可選擇將薄膜沉積在基底上表面（SAL-3000D）和基底下表面（SAL-3000U），薄膜沉積在基底下表面可降低顆粒附著基底的風(fēng)險(xiǎn)。 |
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3. 可搭載互鎖腔體（Load lock chamber）和手套箱 |
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4.圖形用戶界面，觸控操作，簡單易用，可存儲(chǔ)30多種鍍膜方案； |
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5.主機(jī)與控制機(jī)箱一體化設(shè)計(jì)； |
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6. 可搭配多種配件： |
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| 干式真空泵，臭氧發(fā)生器，尾氣處理裝置，800℃基底加熱器，200℃前驅(qū)體加熱器等，退火設(shè)備等； |
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